真空泵的作用是產(chǎn)生負(fù)壓,從而增加制動力。利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。機(jī)械式容積真空泵:通過機(jī)械運(yùn)動使泵腔工作容積周期變化實現(xiàn)抽氣,包括往復(fù)式、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。
射流式真空泵:無機(jī)械運(yùn)動部件,靠噴嘴高速射流抽真空,包括水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵及擴(kuò)散泵等。
按性能特點和用途:
低真空泵:極限壓力高于102Pa,如往復(fù)式、旋轉(zhuǎn)式、液環(huán)式、噴射式及吸附式真空泵。
中真空泵:極限壓力在102~10?1Pa,如羅茨真空泵、多級噴射式、多級旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵。
高真空泵:極限壓力在10?1~10??Pa,如擴(kuò)散泵及分子泵。
超高真空泵:極限壓力低于10??Pa,如離子泵、低溫泵。
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